| 序号 | 特征 | 4吋、5吋、6吋衬底参数 | |
| 1 | 掺杂剂 |
N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus P,P+:Boron |
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| 2 | 晶向 |
<100>,<111>,<110> |
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| 3 | 电阻率 | 0.001～1.0～100～10000Ω▪cm | |
| 4 | 电阻率均匀性 |
≤25% |
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| 5 | 厚度 | 150～5000μm | |
| 6 | 总厚度变化 | ≤5um | |
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7 |
局部平整度 | ≤1.5um | |
| 8 | 翘曲度/弯度 | ≤35um | |
| 9 | 氧含量 | 8.0～18.0ppma | |
| 10 | 碳含量 | ＜1.0ppma | |
| 11 | 位错/氧化层错 | ＜100ea/cm2 | |
| 12 | 滑移线 | NONE | |
| 13 |
表面：雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、沾污 |
NONE | |
| 14 | 背面：崩边、划伤、凹坑、裂纹 |
NONE |
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| 15 |
表面颗粒 |
≥0.2um的≤30um ≥0.5um的≤3um ≥0.3um的≤10um
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| 16 | 表面金属 |
≤5E10 |
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